螺杆真空泵由泵盖、泵体、圆盘，叶轮、机械密封、电动机等零部件组成。进气管排气管通过安装在泵盖上的园盘上的吸气孔和排气孔与泵腔相连，轴偏心地安装在泵体中，国产螺杆真空泵，叶轮用平键固定在轴上，螺杆真空泵两端面的部间隙由泵体和园盘之间的垫来调整，双螺杆真空泵，叶轮与泵盖上的园盘之间的间隙由园盘和泵体之间的垫来调整，叶轮两端面与泵盖上园盘之间间隙决定气体在泵腔内由进气口至排气口流动中损失的大小及其极限压力。 螺杆真空泵的密封采用机械密封，机械密封安装在叶轮和泵体间。由机械密封定出叶轮与泵体之间的间隙。在螺杆真空泵盖上安装有园盘，园盘上设有吸、排气孔和柔性排气阀片，柔性阀片的作用是当叶轮叶片间的气体压力达到排气压力时，在排气口以前就将气体排出，减少了因气体压力过大而消耗的功率、从而降低率消耗。

造纸行业

上世纪末和本世纪初，我国投入造纸行业占有较大的比例，全国各地的造纸厂争先恐后地改造上水平、上规模，这大大地拉动了大型水环真空泵的开发生产，东北某造纸厂一次改造抽气量为400IIl3／min的特大型水环真空泵(目前我国生产的i大规格的水环真空泵)6台，青海真空泵，总配动力为400kW。可以说近几年来的抽气量在100m3／min以上的大型水环真空泵的50%是用在造纸行业，而且这种发展趋势有增无减。

市场上有许多干式真空泵的制造商。在选择制造商之前，我们应该知道这种泵的作用是什么。干式真空泵是一种机械式真空泵，可以在大气压下开始泵送，并将泵送的气体直接排放到大气中。泵室内无油或其它工作介质，泵的极限压力与油封真空泵相同或接近。主要有干式螺杆真空泵、无油往复真空泵、爪形真空泵和无油涡旋真空泵，应用广泛。

1.化学工业、制药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、消泡、包装等，应防止有机i溶剂污染，适用于干式真空泵。

2.除半导体技术外，一些产生颗粒物的工艺不希望颗粒物混入泵油中，但希望颗粒物从泵中排出。某型干式真空泵能满足要求。

3.干式真空泵可作为普通无油洁净真空系统的前泵，防止油污染。

4。半导体蚀刻工艺。腐蚀性气体和磨粒通常用于或在这些过程中产生。

5.多晶硅在低压化学气相沉积中的应用。

随着科学技术的发展，干式真空泵，真空泵生产企业的技术也在不断提高，受反应物影响较小，稳定性好。选择一个好的厂家购买，质量更有保障。

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