真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到真空有一个很大的范围,真空泵排出来的油蒸气对环境的影响。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。真空泵底座下应保持地基水平,泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。
检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。
蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。
真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。为了使用方便和真空工艺过程的需要,将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。