真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000Pa。处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示“差”的意思。真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。
蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。水环式真空泵初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、及食品等许多工业部门。了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。为了使用方便和真空工艺过程的需要，将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。
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