真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。为了使用方便和真空工艺过程的需要，将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。对于有冷却水的真空泵，真空泵生产厂家，按规定接通冷却水。
有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，结构紧凑，泵的转数较高，郑州真空泵，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，小型真空泵，可以获得大的排气量，占地面积也小。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。真空泵底座下应保持地基水平，众所周知，由于水环真空泵和水环压缩机具有结构简单、使用维修方便的特点，因而在各行各业得到了广泛的应用。真空度低，水环真空泵，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000Pa。
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