真空泵的发展从十七、十八世纪迄今已经历了三个多世纪漫长的历史过程。从原始的水泵开始发展成为现有的机械泵、扩散泵、分子泵、低温泵、离子戮射泵、升华泵等数十种。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。
为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,工业真空泵,串联大气喷射器可达270~670Pa。水环式真空泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,真空泵厂,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。
真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。随着真空应用的发展,旋片真空泵,真空泵的种类已经发展了很多种,宁夏真空泵,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万。数百万升,其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压力低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。