工业上有各种各样的真空泵，对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验，主要参数有：

　　1、极限真空(通常称为真空度)：将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。

　　普通真空表测得的真空值(即：表压)为相对真空度，用负数表示，是指被测气体压力与大气压的差值。

　　2、抽气速率：在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体体积。

　　传统工业用真空泵体积普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和润滑机油，介质气体内会含有大量油雾。

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真空机组在物料的生产过程当中扮演着重要的角色，例如电灯泡的自动生成过程，太空设备构成物的真空处理，真空冶炼等。质量高、抽气速率高的真空机组一般有两部分组成，第1部分是罗茨真空泵，另一部分是它的前级泵。通常情况下，真空负压收集系统，前级泵有水环泵、旋片真空泵等。罗茨真空泵有其固有的优势，它能迅速抽离出被蒸馏出来的气体，速度非常得快。它工作承受面积广，工作时比较稳定，而且质量好，维修成本低，起着其他泵做无法达到的作用。但是它必须有前级泵来为它降低原始工作时的气压。高气压容易让其温度过热而损坏机组本身。

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