罗茨真空泵(以下简称罗茨泵)是一种用一对高速旋转的双叶形(即“S”字型、草鞋型)转子来抽除气体的机械真空泵，其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。由于泵转子与空腔之间经常保持不大的隙缝(0.1~0.15毫米)，从而保证在10-1~10-2乇之间有较大的抽速，这就刚好弥补了油封机械泵和油扩散泵在此压力范围内抽速很小的缺陷，在真空系统中起增压的作用，所以又叫机械增压泵。

罗茨泵在高压力下，气体分子平均自由程比隙缝的宽度要小(<0.1-0.15毫米)，相对来说隙缝就有相当大的通导能力，易使大量的气体通过隙缝又返流到被抽容器中去，使泵不能有效地工作，相反，在低压力下，气体分子平均自由程增大，这时隙缝的通导能力就大为减小，即气体漏过微小隙缝的阻力增大，使泵能有效地工作，获得较高的压缩比，即获得较高的真空度。

因此，罗茨泵不能将被抽的气体直接排向大气，这样它就必须配置前级真空泵，安徽真空泵，使罗茨泵的排气端造成一定的预真空，否则不能获得较高的真空度。并且会因过载过热使转子卡住甚至损坏。

真空的击穿电压与间隙距离有着比较明确的关系。试验表明，当间隙距离较小时（≤5mm），击穿电压随着间隙距离的增加而线性增长，但随着间隙距离的进一步增加，击穿电压的增长减缓，即真空间隙发生击穿的电场强度随着间隙距离的增加而减小。当间隙达到一定的长度后（≥20mm），高效节能真空泵，单靠增加间隙距离提高耐压水平已经十分困难，这时采用多断口反而比单断口有利。

一般认为短间隙下的电1击穿主要是场致发射引起的，节能真空泵，而长间隙下的的电1击穿则主要是微粒效应所致。

常用真空泵包括：干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，水环式真空泵，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

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