真空的击穿电压与间隙距离有着比较明确的关系。试验表明,当间隙距离较小时(≤5mm),击穿电压随着间隙距离的增加而线性增长,但随着间隙距离的进一步增加,击穿电压的增长减缓,即真空间隙发生击穿的电场强度随着间隙距离的增加而减小。当间隙达到一定的长度后(≥20mm),节能真空泵,单靠增加间隙距离提高耐压水平已经十分困难,这时采用多断口反而比单断口有利。
一般认为短间隙下的电1击穿主要是场致发射引起的,而长间隙下的的电1击穿则主要是微粒效应所致。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,水环式真空泵,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,江苏真空泵,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
水环真空泵的能力已经在实际应用中体现的较为完整,以优越的性能带动了企业的发展,以较高的应用效果体现出了产品的发展优势,而利用这些基础性产品效果的提升中,要以整体设计来推动设备的不断改进,充分发挥各方面的实际应用能力,以成熟的产品性能来提高各方面的发展,充分带动产品的性能体现,做好各方面应用能力的不断体现,为进一步的提高产品性能做好整体应用的效果。